Неорганическая
Органическая
Коллоидная
Биологическая
Биохимия
Токсикологическая
Экологическая
Химическая энциклопедия
Советская энциклопедия
Справочник по веществам
Гетероциклы
Теплотехника
Углеводы
Квантовая химия
Моделирование ХТС
Номенклатура
Таблица Менделеева
Неорганические реакции
Органические реакции
Молярные массы
Форматирование формул
Редактор формул
Уравнивание реакций
Электронное строение атомов
Игра «Таблица Менделеева»
Термодинамические свойства
Конвертер величин
Гальванопара
Форум
Лекарства
Фармацевтика
Термины биохимии
Коды загрязняющих веществ
Стандартизация
Каталог предприятий


ПОЛИРОВАНИЕ

ПОЛИРОВАНИЕ (от лат. polio-делаю гладким), чистовая обработка пов-сти разл. материалов для уменьшения ее шероховатости (высоты микронеровностей) до величины менее 0,1 мкм, создания определенных св-в (высокого коэф. отражения, декоративного блеска), очистки от загрязнений, получения точных размеров изделия и ненарушенной структуры приповерхностного слоя материала. Полирование осуществляют: локальным срезанием тончайших слоев материала абразивными зернами, закрепленными в полировальнике или эластичной ленте (механическое полирование); растворением в полирующих травителях (химическое полирование); совместным хим. и мех. воздействием на обрабатываемую пов-сть спец. суспензий (химико-механическое полирование, используется при обработке полупроводниковых и нек-рых др. материалов); электролитич. травлением (электрохимическое полирование); хим. р-циями с газовыми травителями (газовое химическое полирование).

Механическое полирование используют в машино- и приборостроении для обработки деталей из металлов, сплавов, оптич. стекла, пластмасс, в микроэлектронике для обработки заготовок из полупроводниковых и диэлектрич. материалов и материалов подложек. Плоские заготовки наклеивают на планшайбы и затем устанавливают на приводимый во вращение полировальник-диск, покрытый тканым (сукно, батист, сатин) или нетканым (искусств. кожа, замша, полиуретан) материалом. Он должен иметь высокую износо-и теплостойкость и обеспечивать закрепление абразивных зерен в своих порах или ворсе. На полировальник наносят абразивную суспензию, приготовленную на основе порошков алмаза, карбидов В4С и SiC, корунда А12О3, оксидов Fe2O3, CeO2 и Сr2О3 с размером зерен от 0,2 до 5 мкм. При механическом полировании деталей круглой или сложной формы применяют цилиндрич. полировальники или эластичные ленты.

Химическое полирование осуществляют во вращающейся вокруг своей оси заполненной травителем емкости, в к-рую загружают одну или неск. заготовок, а также др. способами.

Химико-механическое полирование проводят так же, как механическое полирование, но суспензии приготовляют на основе порошков SiO2 и ZrO2, взвешенных в р-рах щелочей. Щелочи с обрабатываемым материалом образуют соед. с меньшей твердостью, чем сам материал, к-рые удаляются при контакте с полировальником и абразивными зернами.

Электрохимическое полирование проводят в ваннах с р-рами щелочей, к-т и солей, пропуская электрич. ток через анод-заготовку и электролит.

Газовое химическое полирование используют для удаления с пов-сти кремниевых пластин загрязнений и слоя материала с нарушенной структурой. В реактор подают галогенсодер-жащие газы, напр. НС1, и в результате р-ции Si + 4HC1 : : SiCl4 + 2Н2 при т-ре ок. 1200°С происходит травление кремния. См. также Полироли, Травление.

С. Н. Никифорова-Денисова.


     © ХиМиК.ру




Реклама   Обратная связь   Дизайн