Акустические материалы
АКУСТИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ, предназначены для создания акустоэлектронных и акустооптич. устройств, использующих явления, возникающие при распространении упругих волн в среде (фотоупругость, пьезоэффект, акустоэлектрич. эффект и др.). Св-ва акустических материалов, используемых в акусто-электронике, приведены в табл. 1-3. Обозначения в табл.: L - объемные продольные ультразвуковые волны, S - объемные сдвиговые, или поперечные, волны; К - коэф. электромех. связи, характеризующий эффективность преобразования электрич. энергии в упругую и обратно; F-скорость распространения звуковой волны; В-коэф. затухания ультразвука; в квадратных скобках-индексы Миллера для разл. кристаллографии, направлений ([100], [010] и [001]-направлен и я соотв. вдоль осей х, у и z; [110]-под углом 45° к осям х и у; [111]-вдоль пространственной диагонали куба).
Табл. 1.-СВОЙСТВА МОНОКРИСТАЛЛОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ
| Материал | Плотн., г/см3 | к, % | е | V, м/с | Тип волны | Направление распространения волны |
| Диоксид кремния SiO2 (кварц) | 2,65 | 13,7 | 4.58 | 3800 | S | [010] |
| 4,63 | 68,0 | 84,6 | 4800 | S | [100] | |
| LiNbO3 | 18,0 | 28,6 | 7330 | L | [001] | |
| 7,30 | 19,0 | 38,4 | 6160 | L | [001] | |
| LiTaO3 | 44,0 | 47,4 | 3360 | S | [100] | |
| 5,64 | 28,2 | 11,0 | 6100 | L | [001] | |
| 7,40 | 41,0 | 1100 | 3000 | L | [001] |
Т а б л. 2 СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ЗВУКОПРОВОДОВ УСТРОЙСТВ, РАБОТАЮЩИХ НА ОБЪЕМНЫХ ПОПЕРЕЧНЫХ ВОЛНАХ
| Материал | Плотн., г/см3 | У, м/с | В-1017, дБ/(мкc*Гц2) | Направление распространения волны | Направление смешения в звуковой волне |
| Хлорид натрия NaCl (монокристалл) | 2,168 | 2460 | 0,22 | [110] | [001] |
| Фторид лития LiF (монокристалл) | 2,640 | 3620 | 1,23 | [110] | [ПО] |
| Плавленый кварц | 2,200 | 3760 | 0.71 | — | — |
| Свинецсодержашее стекло | 3,425 | 2740 | 21,1 | — | — |
Табл. 3. СВОЙСТВА МОНОКРИСТАЛЛОВ ДЛЯ ЗВУКОПРОВОДОВ УСТРОЙСТВ, РАБОТАЮЩИХ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ ВОЛНАХ
| Материал | V*, м/с | В-1017, дБ/(мкс* Гц2) | К, % | Температурный коэф. задержки ТКЗ*106, к-1 | Срез кристалла, направление распространения звуковой волны |
| Диоксид кремния SiO2 (кварц) | 3160 | 0,26 | 0,23 | -24 | (010), [100] |
| Ниобат лития LiNbO3 | 3490 | 0,107 | 4,5 | 94 | (010), [001] |
| Танталат лития LiTaO3 | 3230 | 0,114 | 0,74 | 35 | (010). [001] |
| 1710 | 0,164 | 1,7 | 128 | (111), [110] |
* Скорость волн Рэлея-поверхностных волн с направлением смещения, перпендикулярным граничной пов-сти.
Табл. 4.-СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ ДЛЯ ЗВУКОПРОВОДОВ АКУСТООПТИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ
| Материал | Плотн., г/см3 | V, м/с | в*10-7, дБ/(мкс*Гц2) | М2*1015, с3/кг | Показатель преломления | мкм | Свет | Звук | |||
мкм | тип волны | направление распространения волны* | |||||||||
| n0 | пе | ||||||||||
| Плавленый кварц | 2,200 | 5960 3760 | 0,71 0,33 | 1,56 0,46 | 1,46 1,46 | — | 0,2-4,5 0.2-4,5 | 0,63 0.63 | 1 || или 1 | L S | — |
| Иодноватая к-та** | 4,63 | 2890 | 0,29 | 39 | — | — | 0,3-1,8 | 0,63 | [010] | L | [010] |
НIO3 | 2440 | — | 86 | — | — | 0,3-1,8 | 0,63 | [100] | L | [001] | |
| Диоксид теллура | 5,99 | 4200 | 0,42 | 34,5 | 2,259 | 2,412 | 0,35-5,0 | 0,63 | [100] | L | [001] |
| ТеО2 | 617 | из | 793 | 2,259 | 2,412 | 0,35-5,0 | 0,63 | Круговая | S | [ПО] | |
| Ниобат лития | 4,628 | 6550 | 0,012 | 27,4 | 2,29 | 2,20 | 0,4-4,5 | 0.63 | II [001] | L | [100] |
| LiNb03 | 7330 | 0,025 | 6,4 | 2,29 | 2,20 | 0,4-4,5 | 0.63 | 1 [001] | L | [001] | |
| Теллур | 6,25 | 2200 | 0,44 | 4400 | 4,80 | 6,25 | 5-20 | 10,6 | II [1120] | L | [1120] |
* Совпадает с направлением смещения в звуковой волне. ** Главные значения показателя преломления: п. = 1,98, пь = 1,96, пе = 1,84.
Осн. элементы акустоэлектронных устройств, для изготовления к-рых используют акустические материалы,-преобразователи электрич. энергии в акустическую и наоборот, а также звукопроводы. Для возбуждения и приема объемных волн используют пьезоэлектрич. преобразователи на основе монокристаллов кварца, LiNbO3 и др.
Типичные акустические материалы для звукопроводов устройств, работающих на объемных волнах (т. наз. линий задержки), - монокристаллы NaCl и др. галогенидов щелочных металлов, кварца, гранатов, кварцевое стекло, а также спец. стекла, металлич. сплавы и др. материалы, характеризующиеся малым В. Для устройств, работающих на поверхностных акустич. волнах (полосовые фильтры, устройства акустич. памяти, корреляц. обработки и др.), используют пьезо-, сег-нетоэлектрики и полупроводники. Св-ва основных акустических материалов для этих устройств приведены в табл. 3. Перспективные материалы-LiIO3, LiTaO3, Bi12GeO20, Bi12SiO20, TeO2, пленки ZnO и A1N на сапфире.
Акустические материалы в акустооптике предназначены для изготовления модуляторов, дефлекторов, фильтров и др. устройств, работающих на основе взаимод. лазерного излучения (электро-магн. волн) со звуковыми волнами. Эти материалы должны быть прозрачными в соответствующей области оптич. спектра лазерного излучения. Осн. характеристики этих материалов приведены в табл. 4. Обозначения в табл.: М2-акустооптич. кач-во материала (M2 = pn6/pV3, где р-упругооптич. постоянная, п-показатель преломления,
-плотн. материала); n0 и ne - показатели преломления для обыкновенного (поляризованного в главной плоскости) и необыкновенного (поляризованного перпендикулярно главной плоскости) лучей света в одноосных кристаллах;
-диапазон прозрачности;
-длина волны света; значки || и
обозначают поляризацию света соотв. вдоль и поперек направления распространения звука.
Литература
СмагинА.Г., Ярославекий М. М., Пьезоэлектричество кварца и кварцевые резонаторы, М., 1970; Рябцев Н.Г., Материалы квантовой электроники, М., 1972, с. 96-241, 274-379; Сыркий Л. Н., Пьезомагнитиая керамика, 2 изд., Л., 1980; Глозман И. А., Пьезокерамика, 2 изд., М., 1972; Яффе В., Кук У., Яффе Г., Пьезоэлектрическая керамика, пер. с англ., М., 1974; Поверхностные акустические волны, под ред. А. Олинера, пер. с англ., М., 1981, с. 270-358; Акустические кристаллы. Справочник, под ред. М.П. Шаскольскон, М., 1982., В. С. Бопдаренко, В. В. Чкалова.
мкм
мкм
НIO3